Berührungslose Messung von Abstand und Schichtdicke

Die hohe Messgenauigkeit und die robuste Bauweise des Messkopfes sowie die Unabhängigkeit der Messung von der Beschaffenheit der Objektoberfläche ermöglichen den Einsatz des CHR 150 E sowohl im Labor als auch in der Industrie.

Eigenschaften

• Eine Abtastrate von 1 kHz bei einer Auflösung von 10 nm bei 300 µm Messbereich
• Großer Einstellwinkel des Messkopfes auch bei spiegelnden Oberflächen (90° ± 30°)
• Weißlicht-Messung (keine Messergebnisverfälschung durch Speckle-Muster)
• Keine Abschattung da konfokales Messprinzip
• Typische Anwendungen:
  - Vermessung von Oberflächen und transparenten Schichten
  - Topografiemessung an Mikrostrukturen
• Integration in automatische Messsysteme nach Kundenanforderung

Weitere Informationen:

• Datenblatt (Optische Messköpfe und Sensoren)

<< Zurück